隨著科學技術(shù)的發(fā)展,在工業(yè)生產(chǎn)和科學研究領城中,需票檢測、控制的對象(信息)迅速增加。信息的獲得有賴于傳感器,即各種敏感元件,其中陶瓷敏感元件占有十分重要的地位。
敏感陶瓷是某些傳感器中的關鍵材料之一,用于制作敏感元件,敏感陶瓷多屬半導體陶瓷(Semiconductive Ceramics) , 是繼單晶半導體材料之后,又一類新型多晶半導體電子陶瓷。敏感陶瓷材料是指當作用于由這些材料制造的元件上的某一個外界條件,如溫度、壓力、濕度、氣氛、電場、光及射線等改變時,能引起該材料某種物理性能的變化,從而能從這種元件上準確迅速地獲得某種有用的信號。按其相應的特性可把這些材料分別稱作熱敏、壓敏、濕敏、光敏、氣敏及離子敏感陶瓷。這類材料大多是半導體陶瓷,如ZnO、SiC、SnO2、TiO2、FezO3、BaTiO3 和SrTiO3等。
此外,還有具有壓電效應的壓力、位置、速度、聲波敏感陶瓷,具有鐵氧體性質(zhì)的磁敏陶瓷及具有多種敏感特性的多功能敏感陶瓷等。這些敏感陶瓷已廣泛應用于工業(yè)檢測、控制儀器、交通運輸系統(tǒng)、汽車、機器人、防止公害、防災、公安及家用電器等領域。
現(xiàn)代電子技術(shù)要求陶瓷傳感器將檢測到的信息(如溫度、濕度等)以電信號的形式輸出,因此,傳感器陶瓷常屬半導體材料。通過微量雜質(zhì)的摻入,控制燒結(jié)氣氛(化學計量比偏離)及陶瓷的微觀結(jié)構(gòu),可以使傳統(tǒng)的絕緣陶瓷半導體化,并使其具備一定的性能。
陶瓷是由晶粒、晶界、氣孔組成的多相系統(tǒng),通過人為摻雜,造成晶粒表面的組分偏離,在晶粒表層產(chǎn)生固溶、偏析及晶格缺陷;在晶界(包括同質(zhì)粒界、異質(zhì)粒界及粒間相)處產(chǎn)生異質(zhì)相的析出、雜質(zhì)的聚集,晶格缺陷及晶格各向異性等。這些晶粒邊界層的組成、結(jié)構(gòu)變化,顯著改變了晶界的電性能,從而導致整個陶瓷電氣性能的顯著變化。
半導體陶瓷的晶界效應,顯示了許多單晶體所不具有的性質(zhì)。近來又開始研究如何利用水蒸氣、某些氣體通過氣孔向陶瓷體內(nèi)部擴散,吸附在晶界表面,使陶瓷的電導率發(fā)生變化的特性,為濕度和氣體敏感陶瓷的開發(fā)提供了新的途徑。總之,人們可以從宏觀上調(diào)節(jié)化學組分、氣孔率(從致密到多孔質(zhì)); 從微觀上控制微區(qū)組分(主要是晶界組分)和微觀結(jié)構(gòu)(晶粒、晶界等)。通過上述各種因素的組合,產(chǎn)生一系列特殊功能材料。這些功能材料的應用特性雖然與晶粒本身性質(zhì)有關,但更主要是利用晶界及陶瓷表面的特性,這是單晶體所不及的。
目前已獲得實用的半導體陶瓷可分為:①主要利用晶體本身的性質(zhì);② 主要利用晶界和晶粒間析出相的性質(zhì);③主要利用陶瓷的表面性質(zhì)等三種類型。有代表性的應用舉例如下,
① 主要利用晶體本身性質(zhì)的:NTC熱敏電阻、高溫熱敏電阻、氧氣傳感器。
② 主要利用晶界性質(zhì)的:PTC熱敏電阻、ZnO系壓敏電阻。
③主要利用表面性質(zhì)的:各種氣體傳感器、濕度傳感器。