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壓電陶瓷的生產(chǎn)工藝

壓電陶瓷的生產(chǎn)工藝大致與普通陶瓷的生產(chǎn)工藝相似,但壓電陶瓷的生產(chǎn)工藝有自己的特點(diǎn),所以,在此以 PZT 即 Pb (Zr, Ti) O3系陶甕為主,介紹壓電陶瓷的必要工序及制作方法。壓電陶瓷的主要工藝流程:

配料——球磨——過濾、干燥——預(yù)燒——二次球磨——過濾、干燥——過篩——成型——排塑——燒結(jié)——精修——上電極——燒銀——極化——測試。

1.原料處理

首先,根據(jù)化學(xué)反應(yīng)式配料。所用的原料大多為金屬氧化物,少數(shù)也可用碳酸鹽(預(yù)燒時便分解為氧化物)。為使生成壓電陶瓷的化學(xué)反應(yīng)順利進(jìn)行,要求原料細(xì)度一不超過2 μm(平均直徑)。提高原料純度,有利于提高產(chǎn)品質(zhì)量,但這個問題不是絕對的,使用純度較低廉的原料,選擇適當(dāng)?shù)墓に嚄l件,同樣可以生產(chǎn)出性能優(yōu)良的產(chǎn)品。

通常使用轉(zhuǎn)動球磨機(jī)或振動球磨機(jī)進(jìn)行原料混合及粉碎。另外,在生產(chǎn)中往往還使用氣流粉碎法,用高壓氣流的強(qiáng)力破碎作用,使粉料形成霧狀,由于不用球石,可以避免雜質(zhì)混入,而且效率提高。

預(yù)燒中的反應(yīng)過程:預(yù)燒過程一般須經(jīng)過四個階段:線性膨脹(室溫~400℃) , 固相反應(yīng)(400~750℃) ,收縮(750~850℃) 和晶粒生長(800~900℃以上)。

2.成型和排塑

原料經(jīng)預(yù)燒后,就合成了固溶體化合物。再經(jīng)一次粉碎,便可成型。成型可根據(jù)不同的要求采用軋膜、壓型或等靜壓等方式。成型之前需加入粘合劑。對軋膜的情況,粘合劑一般是粉料質(zhì)量的15%~20%, 對壓型的情況只需加5%左右。過多的粘合劑會使制品的致密度降低。成型后生坯中的粘合劑、水分等必須加溫排去,稱為排或排膠。

3.燒結(jié)

排塑后的生坯重新裝爐燒結(jié)。影響燒結(jié)的因素很多,首先是配方的化學(xué)組成,當(dāng)配方組成中有足夠的活動離子時,燒結(jié)容易進(jìn)行。例如,PZT中鋯離子活動性差,所以 PZT 中鋯含量增加,燒結(jié)溫度升高,燒結(jié)困難。

添加物對改善壓電陶瓷性能和壓電陶瓷的燒結(jié)起很大作用。“軟性”添加物的共同特點(diǎn)是可以使陶瓷性能往“軟”的方面變化,也就是提高彈性柔順系數(shù),降低機(jī)械品質(zhì)因子Qm值,提高介電常數(shù),增大介電損耗。由于“軟性”添加物加入固溶體中時形成A位置空位,所以又稱為產(chǎn)生A 空位添加物。由于燒結(jié)過程中形成了陽離子空位,從而大大加速離子擴(kuò)散過程,促進(jìn)壓電陶瓷燒結(jié)。

硬性”添加物是指進(jìn)入A位置的K 、Na 以及進(jìn)入B位置的Fe2 、Co2 、Mn、Ni、Mg2 等金屬離子。“硬性”添加物的作用正好與“軟性”添加物作用相反,能使壓電陶瓷的性能向“硬”的方向發(fā)展,也就是說,使介電損耗降低,提高機(jī)械品質(zhì)因子Qm值,提高介電常數(shù)?!坝残浴碧砑游锼鸬淖饔檬侵髯饔?,在晶格中,它引起氧空位,使晶胞產(chǎn)生收縮,降低擴(kuò)散速度,因而使壓電陶瓷難以燒結(jié)。

加人產(chǎn)生液相的添加物(如 MgO, MnO等), 可降低燒結(jié)溫度,但燒結(jié)溫度范圍變窄。添加能限制晶粒長大的添加物(如 Fe3 , Al3 , Cr3 等), 可形成有限固溶體,隨著燒結(jié)過程的進(jìn)行,晶格缺陷得到矯正,溶解度降低,使得已固溶的添加物在晶界析出,形成第二相,可以起到抑制晶粒長大的作用,從而提高陶瓷的抗折強(qiáng)度。

壓電陶瓷的燒成應(yīng)在氧化氣氛中進(jìn)行。特別是組成中有La3 、Nb5 等添加物時,對它們燒結(jié)后往往還要進(jìn)行氧化處理,以保證產(chǎn)生陽離子空位,使游離電子數(shù)目減少,提高壓電性能。

壓電陶瓷燒結(jié)過程中PbO的揮發(fā)對產(chǎn)品的質(zhì)量影響很大。由于PbO揮發(fā),破壞了配方的化學(xué)組成,導(dǎo)致Pb (Zr, Ti) O3的分解,出現(xiàn)非鐵電相ZrO2, 使陶瓷內(nèi)部氣孔率增加,難以燒結(jié)。

4.上電極

燒成的陶瓷經(jīng)精修、研磨、清潔后,就可以被覆上電極。被覆電極一般采用涂布銀漿烘干,然后裝爐,加熱到750℃, 保溫10~20min, 使銀漿中的氧化銀還原為銀,并燒滲到陶瓷表面,形成牢固結(jié)合層。也可采用真空蒸鍍或化學(xué)沉積等辦法來被電極。被上電極的產(chǎn)品便可進(jìn)行人工極化處理。

5.極化

壓電陶瓷必須經(jīng)過極化后才有壓電性。極化就是在直流電場作用下使電疇沿電場方向取向。為使極化充分進(jìn)行,應(yīng)當(dāng)提高極化場。極化電場大小主要取決于矯頑場強(qiáng)和飽和場

強(qiáng)。極化場強(qiáng)一定要大于矯頑場強(qiáng),才能使電疇發(fā)生反轉(zhuǎn)。但提高場強(qiáng)容易引起擊穿,這

就限制了極化電場的提高。


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